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최고의 대기오염방지기술을 제공하는 환경선두기업 MAT

PRODUCT

  • 대기오염방지시설
  • 악취측정시설
  • Heat & Wet
  • Wet
  • Semi Dry
  • EPI
  • Heat & Catalytic

EPI

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MAT1207BW 이미지

Flushing Type
MAT502W

Summary

  • Epi 전용 수용성 Gas 처리 System
  • 4단구성의 다단 처리 공간을 통한 높은 처리 효율
  • Venturi water nozzle system을 통한 원활한 Gas 흐름 유지
  • Inlet 막힘 방지 System 적용
  • Touch screen 및 PLC Control을 통한 자동 System
  • CE Mark 인증

Capacity

500slm

Dimensions

780(W) x 750(D) x 1920(H)mm

Weight

400kg(Dry)

Utilities

  • Power : A/C 200~240V, 3phase, 15Amp
  • N₂: 4~7kgf/cm²(15slm), 1/4″Swagelok, Inlet Purge
  • City Water : 3~5kgf/cm²(8ℓ/min), 1/2″PVC Pipe
  • Gas Inlet : NW50 Flange NW40
  • Drain : Acid Drain 1) Natural Drain : 40A PVC Pipe
    2) Power Drain : 26mm PVC Pipe
  • Gas Exhaust : -50~-100mmH2O, 1m³/min, 50mm PVC Pipe
  • Cabinet Exhaust : -50mmH2O, 1m³/min, 75mm PVC Pipe