POU Abatement System

CAPACITY
500slm / 2000slm / 3000slm

Summary

• 무화염 촉매 산화 기술과 습식 기술을 결합해 가연성 및 수용성 가스 및 NF3를고효율로 동시 처리가 가능 한 고온 촉매 처리 방식 설비
• 별도의 연료(LNG) 연소 없이 전기 Heater와 폐가스 반응 열을 사용 해 폐가스를 열산화 시켜 Thermal NOx가 매우 낮게 발생 함
• Cartridge를 현장에서 Open하여 Cleaning 하지 않고 교환, 회수하는 Swap 방식을 적용 해 FAB 내 오염 최소화 및 편리한 유지 보수 관리 가능

CAPACITY
500slm / 1000slm / 1500slm / 3500slm / 4000slm

Summary

• 전기 Heater와 습식 처리 기술을 결합해 가연성 및 수용성 가스를 처리하는 설비
• 낮은 운전 비용으로 폐 가스 처리 효율 극대화
• Powder 적체와 부식이 심한 공정에 적용 가능
• 연소실 및 습식부의 빠르고 쉬운 분리를 통해 편리한 유지 및 보수 가능

CAPACITY
500slm

Summary

• Plasma 기술과 습식 기술을 결합 해 CF4, C2F6, SF6와 같은 PFCs 가스의 고효율 처리 가능
• 고압 및 저전류의 Torch 기술 개발로, 장기간 안정적인 Torch 운영 가능
• 주요 파트 Module화 적용으로 장비 운용 상에 경제성 극대화

CAPACITY
500slm

Summary

• 직접 연소 기술과 습식 기술을 결합 한 PFCs 가스의 고효율 처리가 가능한 설비
• 연소실에 난류 화염 및 수막 장치를 적용 해, 적은 비용으로 안정적인 시스템 구동 가능
• 다중의 안전 연동 시스템 장착 해 예기치 못한 사고 방지 가능
• 연소실 및 습식부의 빠르고 쉬운 분리를 통해 편리한 유지 및 보수 가능

CAPACITY
500slm, 3000slm, 9000slm

Summary

• Metal Powder 생성 공정에 특화 된 설비
• 자체 개발 한 Inlet 막힘 방지 장치와 Venturi 장치 도입으로 안정적인 설비 운영 가능
• 4개의 독립적인 습식부 구성으로 가스 처리 효율 극대화

CAPACITY
500slm, 1500slm

Summary

• 다량의 수소 사용 공정(EPI) 전용 설비
• 전세계 유일의 대용량 EPI 공정 장비 보유로 2개 Chamber 동시 처리 가능
• 자체 개발 한 Inlet 막힘 방지 장치와 Venturi 장치 도입으로 안정적인 설비 운영 가능
• 4개의 독립적인 습식부 구성으로 가스 처리 효율 극대화