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Burn-Wet
Fuel Burn & Wet
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  • PFC
  • CVD
  • Etch
  • 주요기능
    • 3개의 난류 버너 노즐
      ➜ PFC 제거 효율 향상
    • 3단 구조의 웨팅 존(Wetting Zones)
    • 막힘 및 부식 방지 설계
      ➜ N₂ 실드 및 워터 플로잉 월(Water Flowing Wall) 적용
    • 다중 안전 인터록(Interlock) 구조
    • 에너지 절감 시스템
  • 특징
    • 터치스크린 방식의 자동 PLC 제어 시스템
    • Burn/Wet 모듈의 간편 분해 구조
    • 일체형 수처리 재순환 시스템
  • 제품 사양
    • 적용 공정 : CVD, Etch
    • 처리 용량 : 500 slm