• 무 연료 고효율 가스처리기술
  ➜ Ceramic / Metallic Ball 촉매 이용  
  ➜ 복사열 사용 Heater
• Wet column 디자인을 통한 높은 성능
  ➜ Water Film Nozzle이 장착된 복층식 Wetting Zones
• VOCs 가스 완전 연소를 통한 높은 DRE(%)
• DRE(%) 95% 이상의 높은 NF₃ 처리 효율
• 낮은 NOx 생성 및 배출량
• 낮은 THC 배출량
• Swap kit 관리
  ➜ 안정성, 세정

• 터치스크린이 장착된 자동 PLC controls
• 대체 가능한 카트리지 사용으로 쉽고 빠른 유지보수 가능
• Built-in 타입의 물 재순환 시스템

• 추천 공정 : CVD
• 처리용량 : 700, 2000 slm