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Thermal & Wet
Thermal & Wet
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  • NF₃
  • Powder
  • Diffusion
  • 주요기능
    • 높은 대용량 Powder 처리 능력을 통한 PM 주기 연장
    • 고온 Heater 사용으로 NF₃ 제거 효율 증대
    • Wetting의 성능 증대
      ➜ Water Film Nozzles이 장착된 복층식 Wetting Zones
    • 고성능 “Turbo” 스타일의 Burning Air Supply 디자인
    • 막힘 방지 대비책 마련
    • 부식 방지 대비책 마련
  • 특징
    • 터치스크린이 장착된 자동 PLC controls
    • Burn/Wet 모듈의 간편 분해 구조
    • Built-in 타입의 물 재순환 시스템
  • 제품 사양
    • 추천 공정 : Diffusion
    • 처리용량 : 500, 1000, 3500, 4000 slm