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Wet
Wet
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  • Wet Etch
  • EPI
  • Powder-Protection
  • 주요기능
    • 단계적인 처리 방법
      ➜ 4단 구성 Chambers System  
      ➜ 2 Pre-Wetting + Venturi + Final Wetting with Absorber
    • 3” Inlet 적용 Etch 공정
      ➜ Water Spin Unit + N₂ Shield at Gas Inlet  
      ➜ Inlet Cleaning System 적용으로 Powder 막힘 방지
    • 다중 안전 System 적용
    • Auto Pressure Control System
    • Metal Etch 공정 사용
  • 특징
    • 터치스크린이 장착된 자동 PLC controls
    • PM without chamber open (챔버 오픈 없이 PM 가능)
    • 일체형 수처리 재순환 시스템
  • 제품 사양
    • 추천 공정 : Wet Etch, EPI